【中文科技资讯】12月21日消息，美国分子束外延(Molecular Beam Epitaxy，MBE)设备领军企业Riber近日宣布，他们的MBE 8000平台已经通过了美国一家外延生产商的最终认证，成为备受认可的外延设备。
MBE 8000平台的出色之处在于其批量生长能力，可以同时生长8片6英寸外延或4片8英寸外延。与市面上其他外延设备相比，MBE 8000在生产效率上表现出色，产能提升了50%。此外，由于元件设计、系统几何、过程控制等方面与其他设备相似，MBE 8000的操作也非常简便，可以在最短的时间内实现工艺转移。
据中文科技资讯了解，在对VCSEL型结构及0.8-8µm大小的颗粒进行了30次以上的测量后，MBE 8000的缺陷密度都保持在小于50个颗粒/㎡的水平。这次获得外延生产商的最终认证证实了MBE 8000在工艺、耐用性、稳定性、人类工程学及控制等多个方面的卓越性能。
MBE 8000的技术灵活性使其可以满足VCSEL、晶体管、感测器等需要高均匀性、高再现性及高稳定性的化合物半导体应用场景的需求。
此外，Riber最近还宣布，他们的亚洲工业应用客户已经订购了两台MBE 6000s多片机。这些设备将主要用于生产移动通讯用的HEMT外延片、射频设备以及光通讯设备所需的锑基光电器件等高性能元件。
